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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-YA-357
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 エリプソメータ【分光型】
(Ellipsometer)
地域 中国
設置機関 山口大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 木村
仕様

J. A. Woollam 製  M-2000DI-YK
波長範囲:195nm~1685nm
測定範囲:4mmφ(集光レンズにより400μmφ)以上
角度範囲:45度~90度
試料サイズ:5mmφ~200mmφ

F-YA-357

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