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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-YA-356
分類 形状・形態観察、分析 > 環境試験機・高真空評価
設備名 昇温脱離ガス分析装置 【高感度型】
(Thermal desorption spectroscopy )
地域 中国
設置機関 山口大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 栗巣
仕様

山口大学自作
    真空容器:チタン製(超低圧ガス放出性)
    圧    力:2×10-8Pa以下
    測定下限:5×10-12Pa(N2
              QMSの分圧下限で測定可能
    加熱温度:1000℃
    質量範囲(m/z):1~100(QMS)

F-YA-356

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