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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-YA-355
分類 形状・形態観察、分析 > 環境試験機・高真空評価
設備名 超高真空分圧測定装置
(Partial pressure measuring system)
地域 中国
設置機関 山口大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 栗巣
仕様

山口大学自作 
    到達圧力:1×10-8 Pa
    測定分圧:0.1Pa~1×10-11 Pa
    質量範囲(m/z):1~50(QMS)

F-YA-355

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