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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-YA-354
分類 形状・形態観察、分析 > 環境試験機・高真空評価
設備名 ガス放出速度測定装置
(Outgassing rate measuring system)
地域 中国
設置機関 山口大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 栗巣
仕様

(株)アルバック社製    (特別仕様)
測定方式:流路切替オリフィス流量法
コンダクタンス:6.1m3・S
    真空:1×10-10Pa
    下限:6×10-13Pa・m/s

F-YA-354

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