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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-YA-351
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 触針式表面形状測定装置
(Stylus surface roughness profilometer)
地域 中国
設置機関 山口大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 木村
仕様

(株)アルバック社  Dektak3

  • 垂直解像度 :1nm
  • 測定距離範囲:50μm~30mm
  • 触  針:ダイアモンド(半径  12.5μm、2.5μm)
  • ズーム倍率:35~200倍
  • サンプリング速度:40点/秒
F-YA-351

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