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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-154
分類 成膜・膜堆積 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
設備名 電子ビーム蒸着装置
(Electron beam evaporator)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 加藤
仕様

EBX-6D
 試料サイズ4”, 6”ウエハ

F-WS-154

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