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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-153
分類 その他 > その他
設備名 クリーンルーム環境維持装置
(Heat pump system for clean rooms)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

CHESBAC 空冷ヒートポンプチラー UWRYP100G5

・冷却能力 265kW

・加熱能力 347kW

F-WS-153

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