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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-148
分類 切削、研磨、接合 > ダイシング、スクライバ
設備名 ダイシングソー
(Dicing saw)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 加藤
仕様

ディスコ DAD321
ø 6"対応のマニュアルダイシングソー
最大ワークサイズ 160 x 160
切削可能範囲
X軸:192mm
Y軸:162mm
Z軸有効ストローク:28.2mm
回転数範囲:3,000 - 40,000RPM

F-WS-148

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