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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-147
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
設備名 インラインモニター用 超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡
(Ultra-high resolution scanning electron microscope )
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 由比藤
仕様

日立ハイテク製SU8240
二次電子分解能
0.8nm (加速電圧15kV、WD=4mm、倍率270kx)
1.1nm (照射電圧1kV、WD=1.5mm、倍率200kx)
照射電圧 0.01~30kV
倍率 20~1,000,000倍
可動範囲
X 0~110mm
Y  0~80mm
R 360°
Z 1.5~40mm
T -5~70°

F-WS-147

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