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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-145
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 高性能分光膜厚 測定装置
(Spectroscopic ellipsometer)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 野崎
仕様

堀場製作所製  UVISEL ER AGMS iHR320
波長範囲:190-2100nm
150mmウェハ対応、XY軸はマニュアルステージ

F-WS-145

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