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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-144
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 真空光学系赤外分光計
(Fourier transform infrared spectrometer with sample in vacuum)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

日本分光株式会社製FT/IR-6200+加熱ATR測定部改造

  • 測定波数範囲: 7800~350 cm-1
  • 測定波数拡張範囲: 15000~20cm-1
  • 表示波数範囲: 15000~0 cm-1
  • 波数正確さ:  ±0.01 cm-1以内(理論値)
F-WS-144

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