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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-143
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 高性能半導体デバイス・ アナライザ
(Power device analyzer / Curve tracer)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

アジレント社製B1500A 半導体デバイス・アナライザ

  • 0.1 fAおよび0.5 μVまでの電流/電圧(IV)測定をサポート
  • ハイ・パワー/メモリ・デバイス・テストのための高電圧パルス発生(最大±40 V)をサポート
  • 準静的および中間周波数キャパシタンス/電圧(CV)測定をサポート
F-WS-143

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