文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-142
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 誘導結合プラズマ 質量分析装置
(Inductively coupled plasma mass spectrometry)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 齋藤
仕様

Thermo Fisher Scientific(Bremen)社製  iCAP Qc ICP-MS  

2-290までの質量数の元素をアルゴンプラズマ内に噴霧、イオン化させ、元素固有の質量数をモニターする事により元素を超高感度
(一例:Li(7):約3ppt  Na(23):約2ppt  Zn(64):約1ppt  Pb(208):約0.5ppt)で検出が可能な装置です。

F-WS-142

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