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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-137
分類 切削、研磨、接合 > 接合・貼り付け・ダイボンダ
設備名 プラズマ処理装置
(Plasma processing appuratus)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 水野
仕様

ズースマイクロテック社製PL8
6インチまでの基板表面にプラズマ照射し、表面クリーニングが可能。

F-WS-137

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