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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-135
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
設備名 走査型プローブ顕微鏡
(Scanning probe microscope)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

島津製作所製SPM-9600
動作モード : コンタクト、ダイナミック、位相
試料サイズ : 24mm×8mm
分解能 : 水平0.2nm  垂直0.01nm 
最大走査範囲 : (X・Y・Z) 30μm×30μm×5μm 

F-WS-135

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