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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-133
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 顕微ラマン分光装置
(Micro-Raman spectrometer )
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 齋藤
仕様

東京インスツルメンツ社製nanofinder 30

  • 面分解能200nm
  • 高さ解能0.5nm
  • 時間分解能2msの3次元イメージング可能
  • 10cm□位
  • 1回の測定範囲は10μm位  
F-WS-133

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