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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-127
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
設備名 簡易SEM
(Conventional scanning electron microscope)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 加藤
仕様

キーエンス社製VE-7800
試料サイズ最大20mm角位
操作が簡便
~x10k

F-WS-127

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