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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-126
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
設備名 FE-SEM
(Field emission scanning electron microscope)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 由比藤
仕様

日立ハイテク社製S-4800
試料サイズ最大20mm角
セミインレンズ方式による高分解能(~x600k)
EDAXによる元素分析

F-WS-126

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