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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-125
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
設備名 集束イオン/電子ビーム加工観察装置 (極表面微量元素分析機能つき)
(Focused ion-beam combined with scanning electron microscope)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 由比藤
仕様

 日立ハイテク社製NB-5000
     FIB加工中の同時SEM観察可能
     ~80万倍, 試料サイズ最大30mmΦ

エネルギー分散型X線元素分析機能(EDAX)
・ シリコンドリフトディテクター (SDD検出器)
・ エネルギー分解能: 133eV以下
・ 検出元素:B~U
・ 定性分析/定量分析/マッピング機能搭載

F-WS-125

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