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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-122
分類 合成、熱処理、ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
設備名 環境維持・制御装置
(Heat pump system for laboratories)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

東横化学社製 (特注品)
冷却能力180KW
冷 水 出 口 温 度:5℃から25℃

F-WS-122 F-WS-122

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