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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-121
分類 成膜・膜堆積 > めっき
設備名 精密めっき装置×3台
(Plating apparatus)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 齋藤
仕様

(特注品)
    各種無電解、電解めっきに対応
    Auめっき、合金めっきに対応
    基板サイズ4インチまで

F-WS-121

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