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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-WS-118
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
バルク分析装置 > 元素・組成分析
その他材料評価 > 元素分析
設備名 グロー放電分光分析装置
(Glow discharge optical emission spectrometry)
地域 関東
設置機関 早稲田大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 齋藤
仕様

1. HORIBA社製
    グロー放電分光分析装置GDOES
    軽元素(N. O, H等)の分析可能
    分析範囲10mmΦ以上
    10mm□以上4"までのSi、ガラス基板

F-WS-118

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