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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-UT-143
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 半導体パラメータアナライザー
(Semiconductor Parameter Analyzer)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

B1500A

F-UT-143

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