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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-UT-140
分類 成膜・膜堆積 > めっき
設備名 超臨界銅成膜装置
(  SCF Deposition)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

自作2㎝角まで。東京大学霜垣・百瀬研究室との協力による。

F-UT-140 F-UT-140

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