文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-UT-130
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
設備名 電子顕微鏡
(Scanning Electron Microscope, S-4700)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

Hitachi S-4700 が、武田先端知クリーンルームにあるほか、
大津・八井研の協力により、工学部2号館のSEMも利用することができます。
EDAX(簡易元素分析機能)付き

F-UT-130

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