文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-UT-126
分類 切削、研磨、接合 > 接合・貼り付け・ダイボンダ
設備名 マニュアルウエッジボンダ―
(Manual wire bonder)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

WestBond 7476D
アルミ線(または金)
超音波接合

ウエッジ針によって、超音波で配線を刷り込むように接合できる、
「何にでもよくつく」ボンダーです。普段は25μmφのアルミ線を常用しています。
Zeissの三眼顕微鏡(高精細CCDカメラ付き)により、デバイスの写真や簡単な動画を取得することもできます。

F-UT-126

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