文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-UT-119
分類 機械計測 > 振動・変形測定
設備名 機械特性評価装置
(MSA-500 Micro System Analyzer)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

Polytec MSA-500  振動解析装置

MEMS機構の振動解析を行う装置です。XY方向はストロボスコープ(1MHz)、Z方向はレーザードップラー振動計(1.5MHz)またはレーザ変位計(24MHz)にて測定可能です。
測定した結果をアニメーションにして表示できるので解析に最適です。

F-UT-119

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