文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-UT-106
分類 膜加工・エッチング > ウエット/ガスエッチング,洗浄
設備名 クリーンドラフト潤沢超純水付
(Draft Chambers with DI water taps)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

化学作業を行うためのいわゆる「ドラフトチャンバー」を用意しています。
クリーンルーム1にはアルカリ2台、酸1台、有機1台、
クリーンルーム2にはアルカリ2台、酸2台、有機1台あり、利用できます。
全てに潤沢な超純水を取れる口があり、一度使うと湯水のごとく超純水が使えることに誰もが驚きます。
窒素ガンも用意してあり、洗ったサンプルを窒素ブローで乾かすこともできます。

F-UT-106

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