文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-UT-105
分類 光学顕微鏡 > その他顕微鏡システム
形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
電気計測 > 電子材料・デバイス評価
機械計測 > 振動・変形測定
設備名 形状・膜厚・電気・機械特性評価装置群
(Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

枝番1:Keyence顕微鏡,   型式VHX-1000
顕微鏡観察を行う装置です。
枝番2:DektakXT-S,
触針段差計です。
枝番3:NanoSpec,
SiO2やレジスト、SiN膜の膜厚を簡易的に測定します。
枝番4:Suss8”プローバ,
針を当てて電気的特性を測定する装置です。8インチ対応。

枝番5:半導体パラメータアナライザー

HP4156B
定番の「半導体パラメータアナライザー」です。2014年に校正済。

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