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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-UT-101
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > 光露光(マスクアライナ)
設備名 光リソグラフィ装置PEM800
(Photomask aligner PEM-800)
地域 関東
設置機関 東京大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

型式番号:UNION PEM800
光によるリソグラフィを行う装置。
いわゆる両面4”マスクアライナーと呼ばれる装置です。
マスクは5009、4009、2509サイズを取り付け可能です。

F-UT-101

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