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研究機関:東京大学
名称:東京大学 超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点

東京大学大規模集積システム設計教育研究センターは,15年の支援経験を生かして,高速・大面積リソグラフィの装置利用環境を提供します.加えて本プラットフォーム事業で新規に,集積回路と融合したMEMSの試作プロジェクトを開始します.

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