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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-097
分類 切削、研磨、接合 > 接合・貼り付け・ダイボンダ
設備名 EVG ウェハ接合用アライナ
(EVG aligner for wafer bonding)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

EVG Smart View Aligner、8インチ

F-TU-097

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