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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-089
分類 膜加工・エッチング > ウエット/ガスエッチング,洗浄
設備名 Si結晶異方性エッチング装置(KOH)
(KOH etching)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

SiO2やSiNをマスクとしたSi結晶異方性エッチング
P++層エッチストップによるメンブレン作製
4インチウェハ×10枚/バッチ
6インチウェハ×10枚/バッチ

F-TU-089

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