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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-088
分類 膜加工・エッチング > ドライエッチング(RIE)
設備名 アルバック 多用途RIE装置
(Ulvac RIE)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

アルバック RIH-1515Z

  • 金属や圧電体を含む多目的エッチング用
  • ガス:Cl2、BCl3、SF6、CF4、CHF3、Ar、O2、N2
  • 最大6インチ×1枚/バッチ
F-TU-088

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