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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-078
分類 成膜・膜堆積 > CVD(化学気相成長)、有機膜
設備名 MOCVD装置
(MOCVD)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

ワコム研究所 Doctor-T、PZT成膜、最大8インチ

F-TU-078

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