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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-077
分類 成膜・膜堆積 > めっき
設備名 めっき装置
(Electroplating)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

山本鍍金試験器、Cu、Si、Ni、Au、最大6インチ

F-TU-077

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