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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-065
分類 合成、熱処理、ドーピング > 酸化、拡散、イオン注入
設備名 高電流イオン注入装置
(High-current ion implanter)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

住友イートンノバ NV-10、最大80kV、最大4インチ

F-TU-065

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