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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-064
分類 合成、熱処理、ドーピング > 酸化、拡散、イオン注入
設備名 中電流イオン注入装置
(Middle-current ion implanter)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

日新イオン機器 NH-20SR

  • 最大加速電圧:180keV
  • 最大電流:0.6mA
  • 常時注入可能元素:P、B
  • 4インチ対応カセットtoカセット
F-TU-064

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