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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-059
分類 膜加工・エッチング > ウエット/ガスエッチング,洗浄
設備名 CO2超臨界乾燥装置
(CO2 critical point dryer)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

SCFluids CPD1100 最大6インチ

F-TU-059

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