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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-055
分類 膜加工・エッチング > ウエット/ガスエッチング,洗浄
設備名 エッチングチャンバー群一式
(Etching chamber)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

ウェハ洗浄

  • ウェットエッチング
  • 薬品:H2SO4、H2O2、HCl、HNO3、CH3COOH、HF、NH4F  等
  • 超純水供給
  • 最大6インチ
F-TU-055

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