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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-049
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 段差計
(Surface profiler)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

Tenchor AlphaStep 500
触針式段差計

F-TU-049

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