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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-046
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
合成、熱処理、ドーピング > 酸化、拡散、イオン注入
設備名 拡がり抵抗測定装置
(Spreading resistance profiler)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

Solid State Measurements SSM150

  • 不純物濃度プロファイルの測定
  • ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定
F-TU-046

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