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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-044
分類 合成、熱処理、ドーピング > 酸化、拡散、イオン注入
合成、熱処理、ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
設備名 酸化拡散炉
(Oxidation/diffusion furnace)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

東京エレクトロン XL-7

  • MEMS用/半導体用  計7チューブ
  • ウェット酸化
  • ドライ酸化
  • P拡散
  • B拡散
  • アニール
  • 最大6インチ×40枚/バッチ
F-TU-044

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