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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-114
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 直線集束ビーム超音波材料解析システム#1
(Line-focus-beam acoustic microscope for material characterization #1)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

固体試料の漏洩弾性表面波(LSAW)速度測定、最大6インチ

F-TU-114

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