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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-112
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 レーザ/白色光共焦点顕微鏡
(Laser/white light confocal microscope)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

レーザーテック OPTELICS HYBRID L3-SD、レーザと白色光を切り替え可能
表面形状測定、シリコン深掘り時のエッチング深さ測定

F-TU-112

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