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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-111
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
設備名 大口径AFM
(Large wafer size AFM)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

Digital Instruments Dimension3100、最大12インチ

F-TU-111

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