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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-109
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 TOF-SIMS
(TOF-SIMS)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

CAMECA TOF SIMS IV

F-TU-109

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