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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TU-100
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > ナノインプリント(NIL)
膜加工・エッチング > アッシング・キュア
設備名 エキシマ洗浄装置
(Excimer lamp cleaner)
地域 東北
設置機関 東北大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

デアネヒステ  EXC-1201-DN
エキシマ光を用いた有機物除去

F-TU-100

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