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研究機関:東北大学
名称:東北大学ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム

MEMSを中心とした半導体試作開発ラインを開放しています.6インチまで対応する共用の設備で,必要な装置を必要な時に利用可能です.東北大学に蓄積されたノウハウも利用できます.デバイス/プロセス設計,装置操作指導などスタッフが最大限支援します.

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