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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-TT-230
分類 成膜・膜堆積 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
設備名 抵抗加熱蒸着装置
(Thermal Evaporator)
地域 中部
設置機関 豊田工業大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 岩田直高教授
仕様

ULVAC製VPC-260F型
・3種類の金属ソースを、真空を破らずに連続的に抵抗加熱で蒸着が可能

F-TT-230

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